光明区关于支持智能传感器产业集群高质量发展的若干措施 （修订稿）

第一条 为贯彻落实《深圳市人民政府关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》（深府〔2022〕1 号）、《深圳市培育发展智能传感器产业集群行动计划（2022—2025 年）》等文件精神，促进光明区智能传感器产业高质量发展，加快建设智能传感器中试熟化与产业化示范区，特制定本措施。
第二条 本措施适用于符合光明区经济发展专项资金支持基本条件的从事智能传感器研发、生产和服务的企业，以及其他事业单位、社会团体、民办非企业等机构。
第三条 支持智能传感器微纳加工平台建设。支持建设具有研发中试或量产能力的 MEMS、NEMS 产品微纳加工平台，重点推动深硅刻蚀、薄膜沉积、薄膜应力控制等核心制造工艺及先进封测工艺升级，形成标准工艺设计工具包（PDK），提供研发中试和批量代工服务。对产业延链补链具有重要作用的，或促进科学技术进步增强国家自主创新能力的项目，予以重点支持。
第四条  鼓励智能传感器产业园区建设。对符合条件的企业及机构经事先备案后入驻经区产业部门认定的智能传感器特色产业园区的，按实际租赁面积给予每月最高20元/平方米、最长3年的租金补贴，单个企业补贴面积最高1000平方米。
第五条 支持智能传感器首轮流片。支持智能传感器企业及机构开展首轮流片，按照工程产品首轮流片费用（含IP授权或购置、掩模版制作、光刻等）的30%给予补贴，单个企业年度最高补贴300万元。
第六条 支持企业投资并购。重点支持智能传感器企业及机构投资国内外智能传感器领域上下游企业或研发机构，按投资金额的10%对项目给予奖励，奖励资金按一定比例分配给出资方和投资对象，单个投资并购项目最高奖励1000万元。
第七条 鼓励智能传感器产品应用推广。对于企业销售自主研发设计的智能传感器芯片或模组产品，且企业年度销售金额累计超过500万元的部分，按年度销售金额增量的20%，给予最高500万元奖励。
第八条 资助额度限制。本措施原则上同市级以上政策可叠加享受，与光明区其它同类优惠措施由企业按照就高不就低的原则选择适用，不重复补贴，所需资金从光明区经济发展专项资金中列支，并纳入区经济发展专项资金管理办法进行管理，有数量和额度限制，受区经济发展专项资金年度总额控制，具体以当年发布的申请指南为准。
第九条 实施与效力。本措施自 **年**月**日起施行，有效期 **年**月**日止。《深圳市光明区人民政府印发<深圳市光明区关于支持智能传感器产业集群高质量发展的若干措施>的通知》（深光府规〔2023〕7 号）同时废止。实施期间如遇国家及省、市有关政策规定调整的，可进行相应调整。
第十条 解释权。本措施由光明区工业和信息化局负责解释。